Центр коллективного пользования “Физика поверхности, наносистем и технологии наноструктур”

Положение о ЦКП “Физика поверхности, наносистем и технологии наноструктур” 

В лаборатории имеется технологическая база для комплексного исследования поверхности, включающая как промышленное оборудование, так и установки, разработанные и собранные сотрудниками.
Исследования проводятся на установке K-ALPHA — полностью интегрированном рентгеновском фотоэлектронном спектрометре (РФЭС) фирмы Thermo Fisher Scientific. Данный прибор отличает достаточно высокая функциональность и производительность. Все процессы максимально автоматизированы, все операции проводятся без вмешательства пользователя (за исключением загрузки образца). Система комплектуется ионной пушкой с функцией зарядовой нейтрализации. 128-канальный анализатор для построения высококачественных спектральных карт. Автоматическая генерация отчёта.

Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия (РФЭС)

Рентгеновская фотоэлектронная спектроскопия – один из наиболее информативных методов исследования поверхностных свойств современных перспективных материалов. В настоящее время электронно-спектроскопические исследования свойств поверхности являются областью знаний, имеющей большое значение для современного материаловедения, физики наноразмерных и молекулярных структур, физики и химии конденсированного состояния и тонких пленок. РФЭС является одним из самых мощных и востребованных из современных методов анализа поверхности различных материалов. РФЭС зарекомендовала себя как  один из неразрушающих методов, которые наиболее часто используются для анализа наноматериалов.

Возможности и преимущества метода РФЭС

Высокая поверхностная и элементная чувствительность делают РФЭС незаменимым инструментом исследования поверхностного слоя материалов, нанометровых пленок, наиболее востребованных для использования в современной нанотехнологии и наноэлектронике. При толщине пленок, не превышающей нескольких монослоев, РФЭС позволяет также исследовать межфазную границу раздела пленка-подложка и реакции, которые протекают там во время температурных и радиационных воздействий.

Рентгеновский фотоэлектронный спектрометр K-Alpha

Для исследований РФЭС используется — система K-Alpha фирмы Thermo Fisher Scientific, представляющая собой полностью интегрированную, автоматизированную, высокопроизводительную систему. Система РФЭС K-Alpha позволяет идентифицировать в веществе практически все химические элементы кроме водорода и гелия, состояния атомов элементов, распределение элементов по поверхности (картирование) и вглубь (профиль распределения). Использование компенсирующей пушки позволяет без ослабления уровня сигнала исследовать диэлектрические и полупроводниковые материалы.